MEMS传感器简介
MEMS传感器即微机电系统（Microelectro Mechanical Systems），是在微电子技术基础上开展起来的多学科交叉的前沿钻研畛域。通过四十多年的开展，已成为环球注目标严重科技畛域之一。它触及电子、机械、资料、物理学、化学、动物学、医学等多种学科与技术，具备宽广的运行前景。截止到2010年，全环球有大概600余家单位从事MEMS的研制和消费上班，已研制出包含微型压力传感器、减速度传感器、微喷墨打印头、数字微镜显示器在内的几百种产品，其中MEMS传感器占相当大的比例。MEMS传感器是驳回微电子和微机械加工技术制作进去的新型传感器。与传统的传感器相比，它具备体积小、重量轻、老本低、功耗低、牢靠性高、适于批量化消费、易于集成和成功智能化的特点。同时，在微米量级的特征尺寸使得它可以成功某些传统机械传感器所不能成功的配置。
MEMS传感器百科
MEMS传感器即微机电系统（Microelectro Mechanical Systems），是在微电子技术基础上开展起来的多学科交叉的前沿钻研畛域。通过四十多年的开展，已成为环球注目标严重科技畛域之一。它触及电子、机械、资料、物理学、化学、动物学、医学等多种学科与技术，具备宽广的运行前景。截止到2010年，全环球有大概600余家单位从事MEMS的研制和消费上班，已研制出包含微型压力传感器、减速度传感器、微喷墨打印头、数字微镜显示器在内的几百种产品，其中MEMS传感器占相当大的比例。MEMS传感器是驳回微电子和微机械加工技术制作进去的新型传感器。与传统的传感器相比，它具备体积小、重量轻、老本低、功耗低、牢靠性高、适于批量化消费、易于集成和成功智能化的特点。同时，在微米量级的特征尺寸使得它可以成功某些传统机械传感器所不能成功的配置。
分类
MEMS气体流量传感器：高精度，检测流量范围广，实用于各种需求的流量计测。
MEMS压力传感器：性能偏向小的MEMS压力传感器。
MEMS非接触温度传感器：对运动人体也能检测，高灵便度的人体感应传感器。
MEMS开关：高频，小型，短命命的MEMS开关。