集成电路的互连线资料及其开展

集成电路的互连线资料及其开展

陈君侯倩廉得亮,深圳大学信息工程学院,摘要,集成电路,IngratedCircuits,的极速开展,造成对互连线的资料要求更高,互连线的疑问成为了集成电路的研讨热点,尤其是当电路的特征尺寸越来越小的时刻,互连线惹起的各种效应是影响电路性能的......
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